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恭喜网站正式上线

发布日期[2017-11-23]


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    多功能磁控溅射镀膜系统主要用途

      发布时间:2019-05-17 05:45

      上世纪80年始,磁控溅射技术得到迅猛发展,其应用领域得到了极大的推广, 现在磁控镀膜技术在镀膜领域有着举足轻重的地位,在工业生产和科学领域发挥着极大的作用,在TP及显示行业,磁控溅射镀膜作为加工的上游显得尤为重要。

      因此,提供一种多功能磁控溅射镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

      蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。多功能磁控溅射镀膜系统主要用途:用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。