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发布日期[2017-11-23]


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    真空镀膜系列手套箱蒸镀一体机

      发布时间:2019-05-09 00:06

      真空蒸镀系统样品台只能完成有机源和金属源的蒸发成膜,而且只能一次性制作4个样品。虽然磁控溅射系统和匀胶成膜系统也可以通过过渡舱连接到蒸镀室,但这类设备无法将磁控溅射系统置于蒸镀室内部且机械制造复杂,效率低下。而且大部分机器都无法做到多个样品的一次性制备,每批次样品蒸镀完毕后,需要破坏蒸镀室气氛以重新装入样品,然后再重新抽真空。从而导致研究人员需要花费更长的实验时间以获得实验环境并进行相对较复杂的操作步骤,每批制备的样品也不同,造成生产滞后和科研效率降低的后果。

      为此,克服现有技术中真空蒸镀系统样品台只能完成有机源和金属源的蒸发成膜,而且只能一次性制作样品少,生产效率低的缺陷,提供一种手套箱蒸镀一体机。本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

      蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

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